技术编号:6198526
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种重合度精确测量的重合度测量装置。它在镜筒上方固定激光器安装座,大功率半导体激光器安装在激光器安装座上;在镜筒的前端、后端分别设置物镜前组、物镜后组;在物镜前组前方固定有激光器折转光管,在激光器折转光管上安装有三棱镜Ⅰ、三棱镜Ⅱ;在物镜后组后方依次设置分光棱镜Ⅰ、分光棱镜Ⅱ和目镜,在分光棱镜Ⅰ上方设置光电转换元件;在分光棱镜Ⅱ下方设置LED或小功率半导体激光器;准直分划板设置在LED或小功率半导体激光器出光口前,目镜分划板设置在目镜前。本实...
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