技术编号:6198860
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种探针装置,其包含力臂、探针座、探针和至少一个感应元件。力臂的一端用以固定在点测机上。力臂具有贯穿的镂空区,且力臂为一体成型的金属块。探针座连接于力臂相对于点测机的另一端。探针连接于探针座相对于力臂的另一端。感应元件位于力臂上。当力臂受力而变形时,感应元件随力臂的变形量而产生观测值变化。本实用新型探针装置可以提升测量针压的准确度,且灵敏度高,故不会使晶圆上升过冲,进而不会使得探针装置上的探针损坏晶圆;还可以使得探针装置上的探针减少磨损。专...
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