技术编号:6202658
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种红外探测器结构及其制备方法,尤其是一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法,具体地说是一种基于纳米纤维体的高性能热电堆红外探测器结构及其制备方法,属于MEMS的。背景技术MEMS热电堆红外探测器是传感探测领域的一种典型器件,是组成温度传感器、均方根转换器、气敏传感器、热流量计等传感探测器件的核心部件之一,与此同时,小尺寸热电堆红外探测器还可构建红外焦平面阵列(FPA)器件实现红外成像。热电堆红外探测器与基于其它工作原理的红外探测器(...
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