技术编号:6202827
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种晶圆测试工具,特别涉及一种探针卡。包括印刷电路板、探针和探针固定部件,所述探针通过所述探针固定部件设置在所述印刷电路板上,所述探针贯穿所述探针固定部件,其特征在于所述探针固定部件内设有与探针数目相同且材质相同的中空金属套管,所述探针分别穿过所述金属套管且可插拨的设置在所述印刷电路板上。本实用新型的探针卡,更换坏针时,不需要拆开封装的塑料层,直接抽出坏针更换新针即可,操作简单快捷,提高了维修效率,同时减小了对卡和其它探针的伤害,增加了电路板...
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