一种利用水吸收甲醛的声表面波甲醛气体传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:6203372

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本实用新型公开了一种利用水吸收甲醛的表面波甲醛气体传感器结构,包括压电基片、电极、导电敏感膜、绝缘敏感膜和电气引线,导电敏感膜、绝缘敏感膜吸附水蒸气,水蒸气吸附甲醛气体。吸附甲醛气体后,导电敏感膜的电导率发生变化,而绝缘敏感膜不发生变化,因此相应的输出频率产生不同变化,两者之差是传感器对甲醛气体的响应。本实用新型的优点在于针对甲醛的沸点低、分子质量小、易溶于水的特点专门研制的声表面波气体传感器,检测灵敏度高,不需要手工采样。专利说明一种利用水吸收甲醛的声表...
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