技术编号:6208052
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型线公开了一种直线位移传感器自动化校准装置,主要包括一基座,双直线导轨、光栅尺、伺服电机、垂直升降装置固定在基座上;滚轴丝杆通过联轴器与伺服电机连接;水平调整装置、通用夹具、锁紧螺母彼此卡扣并与垂直升降装置连接;滑动式激光反射镜支撑架、滑动式激光干涉镜支撑架、滑动式双频激光干涉仪支撑架固定在直线导轨上,其中固定拉杆、激光反射镜、光栅尺读数传感器固定在滑动式反射镜支撑架上,激光干涉镜固定在滑动式干涉镜支撑架,双频激光干涉仪固定在滑动式双频激光干涉仪支...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。