技术编号：6209330
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空腔体，尤其涉及。背景技术现有真空腔体自动检测漏率的方法如图1所示，其漏率检测和自清的步骤是分离的，在如图2所示的传统真空腔体自动检测漏率的设备中，清洗检测部件和漏率检测部件并未连接在一起，直接造成后续制程的气体浪费、产能和良率下降，以及污染的产生。中国专利(CN101839794A)公开了一种用于大型真空腔体批量真空检漏的方法及系统，其中提到了对大型真空腔体进行检漏时先粗抽真空再用高精度检漏仪检漏的方法，但并未提及关于检漏的技术方案，也没有提...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。