技术编号:6210483
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是关于一种膜厚监控装置,特别是指一种光学薄膜制造领域的膜厚监控装置。背景技术光学薄膜基本上是通过干涉作用而达到其效果,是指在光学元件或独立基板上镀覆一层或多层介电质膜或金属膜或介电质膜膜堆或金属膜膜堆来改变光波传递特性。其广泛应用于光学仪器,如影像传感器、半导体激光器、干涉仪、眼镜以及光纤通信组件等很多领域,特别是伴随着数字相机与手机等便携式电子装置的结合,相机模块需求逐步增大,相应的就需要大量低通滤波器、红外截止滤波器、高效率抗反射膜、彩色滤光...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。