技术编号:6211578
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及涉及精密仪器检测领域,具体涉及一种光栅表面缺陷检测装置。背景技术 目前,企业利用体式显微镜,依靠人工目视检测光栅表面缺陷,有如下缺点 自动化程度低。光栅固定、光栅展开、光栅识别、光栅上下料、光栅标记等主要依靠人工来完成。检测精度低。人工检测过程中人为因素和设备精度都会影响检测精度,人为因素如注意力下降、主观臆断、肉眼分辨力有限等,设备精度如使用单一光源、传统光学显微镜、制造精度等。可靠性低。由于工作环境、个人心情、主观判断、手动操作、设备...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。