技术编号:6211858
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种碳化硅抛光片应力自动检测装置,通过位移传感器以实现摄像头的360°旋转,将图像采集装置与应力仪主体结合在一起,摄像头采集的图像通过数据线传输到电脑,以便保存应力图像进一步分析。本实用新型方便实用,全程可单人操作完成,省时省力;操作简单,整个过程能够通过可视化软件界面在电脑上操作完成,当待检测晶棒数量较多时,将大大提高检测效率;可以实现摄像头的360度旋转,拍摄角度精确定位,保证图像采集的准确性,进一步提高应力检测的准确性。专利说明一种碳...
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