技术编号:6213045
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种基于互电容测量原理的梳齿式柱面电容传感器。结构组成由外到内依次为传感器外壳、绝缘基质层和结构相同的四组互电容测量单元。四组互电容测量单元沿绝缘基质层内圆周向等距分布,每组由第一、第二梳齿式电容极板构成。传感器用于高精密轴系转子的径向运动误差测量,作为定子同轴安装于被测转子外。测量时,转子产生的径向跳动将引起对应互电容测量单元总体电容值的改变,通过对电容值测量并进行合理的数学运算,可得到被测转子的径向跳动位移值。本实用新型采用互电容测量原...
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