技术编号:6213980
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种用于测量EUV镜头(30)的成像质量的测量系统(10),包括衍射测试结构(26);测量光辐射装置(16),构造成将EUV波长范围中的测量光(21)辐射至测试结构;变更装置(28),用于改变借助镜头实现的测试结构的成像的至少一个像确定参数;探测器(14),用于记录像堆,所述像堆包括在设定不同像确定参数的情况下产生的多个像;以及评估装置(15),构造成从像堆确定镜头的成像质量。专利说明测量EUV镜头的成像质量的测量系统[0001]本申请要求于2012年3月...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。