技术编号：6213987
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种生产压力传感器(130)的方法，该压力传感器(130)包括由陶瓷材料制成的平坦柔性膜(100)以及由陶瓷材料制成的该平坦柔性膜(100)的平坦刚性支撑件(110)，该方法包括以下步骤在该膜(100)上实现电路(16，18)；在该支撑件(110)上实现与外侧的电接触；将导电材料沉积在该支撑件(110)上；实现该膜(100)和该支撑件(110)之间的电耦合和机械耦接；通过至少一个导电可烧结电连接材料层的沉积和烧结来执行膜(100)和支撑件(110)之间的电...
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