借助磁场传感器阵列基于霍耳效应非接触测量相对位置的位移传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:6214134

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本发明涉及用于非接触测量产生磁场的磁场源(102)和磁场传感器(100)相对于彼此的相对位置的位移传感器,其中磁场源(102)和磁场传感器(100)相对于彼此可移动。多个磁场探头(106-1,106-2,106-3,--?106-N)产生多个位置信号,每个磁场探头检测磁场的磁通密度的至少两个空间分量(By,Bz)。控制和计算单元(108)基于所述多个位置信号计算位移传感器的输出信号,并且存储单元(110)存储各个位置信号,控制和计算单元计算磁通密度的大小并...
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