技术编号:6214192
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种绝缘检查方法以及绝缘检查装置,可进行绝缘不良部的正确的电阻测定。一种形成有多个配线图案的基板的绝缘检查装置,其具有选出单元,其选出一个配线图案作为第一测定部,并且选出与该第一测定部具有绝缘不良的配线图案作为对象测定部;电源单元,其在第一测定部与对象测定部之间供给预定的电信号;测定单元,其测定其间的电特性;以及计算单元,其根据电源单元所供给的电信号和测定单元所测定的测定值,计算第一测定部与对象测定部之间的绝缘不良部的电特性,选出单元使第一测定部...
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