技术编号：6214221
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种，该方法包括由以下组成的步骤(a)通过蚀刻至少一种给定的材料而在由所述至少一种给定的材料制成的载体(100)中形成沟槽(105)；(b)使所述给定的材料在沟槽的壁和底部制成多孔；(c)用导电材料(110)填充沟槽(105)。专利说明 [0001]本发明涉及具有多孔材料的电容传感器的领域，适用于检测流体，且特别适用于气体传感器和/或湿度传感器。 [0002]本发明涉及一种用多孔材料制造电容传感器装置的方法。 背景技术 [0003]电容传感器基...
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