可变压力四点涂覆探针装置及方法技术资料下载

技术编号:6214240

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本发明涉及一种可变压力探针装置,所述可变压力探针装置包含壳体,其带有具有第一纵向轴的通道;探头,其至少部分地安置于所述通道中且包含经配置以测量导电层的性质的多个探针;及流体压力系统,其经配置以将经加压流体供应到所述通道以控制所述探头在所述通道内的位置。所述壳体或所述探头是可位移的,以使得所述多个探针接触所述导电层。专利说明[0001]相关申请案交叉参孝[0002]本申请案依据35U.S.C.§ 119(e)主张2012年3月I日提出申请的第61/605,6...
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