热式流量计的制作方法技术资料下载

技术编号:6214619

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本发明提供一种即使在为了在流量检测元件形成隔膜而设置有空隙的情况下,也能够抑制隔膜的变形和背面的污损所引起的计测精度的降低的热式流量计。本发明的热式流量计(300)具有用于使从主通路(124)导入的被计测气体(30)流动的副通路;和通过与在副通路中流动的被计测气体(30)之间进行热传递来计测被计测气体(30)的流量的流量检测元件。热式流量计(300)至少具有包括流量检测元件(602)的电路封装(400)。为了在流量检测元件(602)的流量检测区域(437)...
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