改进的振动陀螺仪的制作方法技术资料下载

技术编号:6214629

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一种传感装置,其包括微机械陀螺仪,所述陀螺仪包括改进的具有微机械陀螺仪(51)的传感装置,其中,第一机械共振器(52)的共振频率和第二机械共振器(53)的共振频率被调整为基本一致。所述装置包括连接至所述第二机械共振器(53)的反馈回路,所述反馈回路和所述第二机械共振器(53)的组合的品质因数小于10。在基本上不增加传感器装置构造的复杂度的情况下实现了更加精确的感测。专利说明改进的振动陀螺仪 [0001] 本发明涉及微机电装置,特别地,如独立权利要求的...
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