技术编号:6214738
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的目的是提供一种检测精度高的热式流量传感器。为了达成上述目的,本发明的热式流量传感器包括流量检测元件,其包括对半导体基板进行加工而设置的隔膜、在所述隔膜上设置的发热电阻体、在所述发热电阻体的上游侧和下游侧分别设置的测温电阻体;支承部件,其经由粘接剂片接合保持所述流量检测元件,所述支承部件具有一端在设置于所述隔膜的背面侧的空洞部开口的连通孔,所述粘接剂片在所述支承部件的连通孔的开口区域形成有通气孔。专利说明热式空气流量传感器 [0001]本发明涉...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。