表面特征映射的制作方法技术资料下载

技术编号:6214768

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本文中所提供的是一种装置,包括用于将光子发射到物品的表面上的光子发射装置;用于检测从物品的表面中的特征散射的光子的光子检测装置;以及用于映射物品的表面中的特征的映射装置,其中此装置被配置成每100秒处理多于一个物品。专利说明表面特征映射 交叉引用[0001] 本申请要求2012年5月9日提交的美国临时专利申请No. 61/644,998的权益。 背景技术 [0002] 在生产线上制造的物品可被检查某些特征,包括可降级物品或包括该物品的系统 的性能的缺陷...
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