技术编号：6214912
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及法布里-珀罗干涉仪及其制造方法。更具体地，本发明涉及利用诸如压电致动器、电致伸缩致动器或挠曲电致动器的一个或几个致动器的可控的法布里-珀罗干涉仪。在现有技术中，在实现反射镜之间足够小且均匀的间隙方面存在问题。在本发明中，中间结构(85a，85b，95a，95b，81a，81b，91a，91b，98a，98b)被用在反射镜与致动器之间或两个反射镜之间使用。生产的方法还包括在几个阶段中测量间隙的宽度分布，并且提供致动器的预启动。专利说明 [00...
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