技术编号:6214914
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。公开了一种光刻设备(100),包含反射镜(200),具有至少两个反射镜段(210),所述至少两个反射镜段连接在一起,使得在所述反射镜段(210)之间形成空隙(214);以及传感器(220,300),用于检测所述反射镜段(210)的相对位置;其中,所述传感器(220,300)布置在所述反射镜段(210)之间的所述空隙(214)中。专利说明具有分段反射镜的光刻设备[0001]相关申请的交叉引用[0002]本申请要求德国专利申请DE 10 2012 212 06...
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