技术编号:6215013
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于测量表面的干涉距离测量装置,使用至少一个可调谐激光器,该可调谐激光器具有用于生成利用波长斜坡调制的测量辐射;光束路径,该光束路径具有光学发送系统,用于向表面发射测量辐射;以及光学采集系统,用于采集有该表面反向散射的测量辐射,其包括测量臂和基准臂;以及辐射检测器和估计单元,用于确定从距离测量装置的基准点至表面的距离。分别通过针对测量辐射的并行发射的至少一个分束器(13、29)来定义n≥2个通道,在预定的发射时间点将波长斜坡的一个不同的子区域...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。