技术编号:6215681
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种立式热处理设备恒温区测量热偶定位装置,用于辅助将具有石英保护套的恒温区测量热偶从反应腔室底部工艺门的测量孔中垂直插入,其包括导向空心圆柱和导向空心圆柱座体;导向空心圆柱的内环直径大于石英保护套的外径,其高度小于恒温区测量热偶的最低轴向测量点;导向空心圆柱座体与导向空心圆柱一端外侧壁垂直固接;其中,在拉温过程开始前/后,导向空心圆柱从反应腔室底部工艺门的测量孔中插入/卸除,以及,导向空心圆柱座体通过第一连接结构可拆卸地固设在位于反应腔室底部的工...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。