技术编号:6216086
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,属于光学测试领域,为解决现有技术无法对球面测试时干涉仪传递函数测试问题,技术方案为打开点衍射相移干涉仪中的光学照明系统与干涉图接收采集光电系统的电源,使其处于工作状态;在测试光路中与光轴方向夹角45°放置高度传递函数测试基准板使光路折转,在其后放置高精度球面反射镜,使其球心与衍射光出射点即针孔衍射板重合;在干涉图接收采集光电系统上可获得基准板的干涉图,通过测试采集相移图像将得到基准板的面形测试图,即测试基准板的高度测试结果hi;建立计算模型,通过高度测试...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。