技术编号：6216155
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种三维压电矢量水听器微结构，它包括用于感知水流信号大小和方位的敏感单元；该敏感单元呈⊥形状，包含弹性模量较小的衬底（5），其上为具有双面电极的压电材料阵列和位于压电材料阵列中心的竖直微柱（1），该压电材料阵列由上而下包括上电极（2）、压电材料层（3）和底部电极（4）；该竖直微柱（1）是圆柱形状，其根部与压电材料结合，该上电极图形化分离或者上电极和压电材料层都图形化分离，成为“田”字形阵列，能输四个信号；若压电材料层分离，则四个信号各自独立；当有水流冲击时...
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