激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪及联测方法技术资料下载

技术编号:6216234

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本发明涉及金属中氧氮氢氩氦分析领域,具体为一种,解决现有金属中氧氮氢氩氦分析技术中,惰气熔融法等宏观分析手段仅能给出气体分析总含量值,离子探针等微观分析手段准确度差和可信度低的问题。激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪主体由以下部分构成激光器、耐高温高压玻璃窗口、待测样品台、被测样品、加样口、机械手、样品室、防污染弯管、真空泵、三通阀、质谱分析仪、计算机。联测仪控制软件可精准控制激光器、样品台、加样口、机械手、真空泵、三通阀等动作,控制质谱分析仪按设定发射电流等参...
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