技术编号:6216715
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种补偿系统、高次非球面检测装置及方法,该补偿系统包括多块共轴的光学镜片,所述多块光学镜片中设有一块分光镜,该分光镜的一个表面为二次非球面表面,该二次非球面位于所述补偿系统的中间位置,光线将垂直入射到上述二次非球面表面,部分光线经反射按原光路返回形成标准光,另外部分光线则从该面垂直透射形成测量光。由于测量光和标准光在分光镜之前的光学系统中共光路,使得这些元件的面形误差、系统装配精误差,偏心误差、材料折射率均匀性以及装卡应力造成的不利影响均被抵消,对加工装配...
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