紫外球面微通道板光子计数成像探测器的制造方法技术资料下载

技术编号:6216812

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本发明涉及一种紫外球面微通道板光子计数成像探测器,包括置于真空壳体内,由上至下设置的光电阴极、微通道板、位置灵敏阳极;置于真空壳体前端的输入窗;置于真空壳体后端的带有金属输出电极的金属输出窗;以及置于真空壳体外部的位置读出电路和计算机图像输出电路;所述输入窗、与真空壳体、金属输出窗封接为一体形成真空气密的结构;所述输入窗的内表面上镀有一层能透射紫外线的导电薄膜,所述的光电阴极制作于该导电薄膜上;所述输入窗及微通道板为曲率半径相同的凸球面形状。本发明可减小大...
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