基于五芯光纤光栅的三维微尺度测量装置及方法技术资料下载

技术编号:6216886

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属于精密仪器制造及测量;所述装置包括宽频光源、光谱分析仪、光环形器、控制计算机、多路光开关和外部参考光栅,五根单模光纤分别将多路光开关与五芯光纤扇出器连通,五芯光纤的一端连接在五芯光纤扇出器上,在五芯光纤的另一端部上通过探针夹持器固装五芯光纤光栅探针,所述五芯光纤与五芯光纤光栅探针连接形成通路;所述方法是控制计算机控制多路光开关切换光路,使用光谱分析仪分别测量光纤光栅的反射光谱,并利用差分数据处理算法,实现无温度耦合的三维微尺度测量。本发明具有精度高、接触...
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