技术编号：6218010
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种利用白噪声功率谱密度(PSD)校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法。白噪声会限制光学表面轮廓仪的空间分辨率，它是一种功率频谱密度为常数的随机信号或随机过程，利用这一规律，将测试结果中符合白噪声功率谱密度(PSD)曲线化规律的部分截断，剩余部分对应有效的空间频率范围。本发明原理简单、操作便捷，不需要借助其他设备，在检测光滑样品的同时就可以完成校准工作，显著降低了光学表面轮廓仪校准的难度和成本，确定了光学表面轮廓仪的有效空间分辨率。专利说明利用...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。