非对称Au粒子阵列和FP腔耦合的折射率传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:6218509

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本发明提供了一种非对称Au粒子阵列和FP腔耦合的折射率传感器。该折射率传感器包括绝缘衬底,其至少单面抛光;金属薄膜反射层,沉积于衬底的抛光面上;透明介质层,沉积金属薄膜反射层上;以及二维金属单元阵列,形成于透明介质层上,该二维金属单元阵列中的每一金属单元为非对称单元,其是由两个沿衬底表面排列的金属纳米柱构成,每一金属单元的两金属纳米柱与位于其正下方的金属薄膜反射层之间构成一F-P腔回路。本发明折射率传感器结合了非对称粒子Fano共振效应以及把LSP模式和F...
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