一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法技术资料下载

技术编号:6218679

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本发明公开,其中,步骤一自动派工系统进行WAT测试的派工时通过Recipe查询本次测试所需的探针卡类型;步骤二自动派工系统查询需要派工的机台上的探针卡类型;如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型一致则不用换卡,如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型不一致则需要换卡;步骤三机台自动更换系统将机台内的探针卡换出,同时,机台自动更换系统选择所需类型的探针卡并将此探针卡换入机台;步骤四所需类型的探针卡换入后Lot测试开始。使用本发明通过探针卡Stoker、探针卡搬...
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