一种大口径晶体缺陷检测方法及装置制造方法技术资料下载

技术编号:6218999

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一种大口径晶体缺陷检测方法及装置,涉及一种晶体缺陷检测方法及装置。以解决目前尚无使晶体在恒温状态下利用倍频效率测量方法检测晶体存在生长缺陷的方法及装置。将装有晶体的大口径晶体缺陷检测装置置于检测装置缺陷检测光路中;装置铜环外固定有加热器,两个内挡环套装在铜环内且与铜环可拆卸连接,两个内挡环之间固定有竖直设置的大口径晶体,内固定端盖与铜环固定连接,窗口玻璃片通过内固定端盖密封固定在内挡环斜端面上,加热器外侧套装外壳,外壳两端与外固定端盖固定,测温热电偶固定在...
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