技术编号:6219096
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统,包括微机械器件、表征设备(1)、接口设备(2)、测试设备(3),接口设备(2)将微机械器件放于表征设备(1),其特征在于所述接口设备(2)包括电学接头(6)和光纤接头(7),通过电学接头(6)或通过光纤接头(7)将信号施加至微机械器件,微机械器件在测试设备(3)的驱动下发生形变;另外可以将微机械器件固定于电极(14)上,微纳米结构体(17)固定于微机械器件末端,测试设备驱动微机械器件的摆动,进而控制微纳米结构...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。