技术编号:6219483
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种二维纳米尺度光子晶体力传感器,涉及力的测量领域。本发明是为了解决现有的传感器测量精度低、灵敏度差和二维力测量相互干扰的问题。它包括一号微悬臂梁传感器、二号微悬臂梁传感器、和纳米谐振腔,纳米谐振腔分别嵌在一号微悬臂梁传感器和二号微悬臂梁传感器上;所述一号微悬臂梁传感器为长方体的平板结构,二号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的XOZ平面上,一号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的YOZ平面上,所述一号微悬臂梁传感器垂直二号微悬臂梁传感器,所述一号微悬臂梁传感...
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