自动光学检测装置的对焦方法技术资料下载

技术编号:6219509

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本发明公开一种,该对焦方法包含依据多个待测物中第一待测物的对焦距离决定多个待选距离,第一待测物相邻于第二待测物,以所述多个待选距离对第二待测物拍摄对应的多个待选影像,并从这些待选影像中,选择清晰度最高的作为第二待测物的检测影像,以进行检测程序。专利说明[0001]本发明涉及一种,更具体地说,是关于一种自动光学检测装置可快速对多个待测物对焦的方法。背景技术[0002]在积体电路相关的领域中,自动测试是一个重要的环节。自动测试是用来判断一个积体电路晶片的功能是...
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