Osp膜厚的测量方法技术资料下载

技术编号:6219624

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本发明公开了一种OSP膜厚的测量方法,包括如下步骤(1)取样,在样品的OSP膜表面喷镀一层金属镀层;(2)在金属镀层表面涂覆环氧树脂胶,烘烤使环氧树脂胶固化;(3)制作切片,用扫描电镜测量OSP膜的厚度。本发明的测量方法通过直接在OSP膜表面进行喷镀和涂覆环氧胶、将待测OSP膜保护起来后再进行切片制作,利用扫描电镜可直观地观察OSP镀膜均匀性,从而对OSP膜覆盖程度进行评估,且可以直接对膜厚进行测量。其测试结果重现性和精确度高,所得数据便于工程参考和对比。...
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