技术编号:6219984
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种晶圆自动测试系统,包括探针卡、探针台、用于放置晶圆的晶舟、用于将所述晶圆在晶舟与探针台进行传输的机械手,所述探针台上设有放置晶圆的卡盘或清洁所述探针卡上探针的清洁盘,还包括设置在卡盘或清洁盘上的测试数据校准件,用于将测试平面校准至所述探针针尖端面处。设置在卡盘或清洁盘上的测试数据校准件可以将探针卡上的、从与同轴电缆母接头对应的公接头至探针针尖之间的误差进行修正,从而获得精度高的测试数据。并且,可以将探针卡上的探针与所述测试数据校准件进行接触的校准过程、...
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