技术编号：6220814
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种三坐标移动定位ICP光源系统，由三坐标工作台、ICP功率匹配器和ICP等离子体光源发生设备组成，三坐标工作台位于整个系统的底层，由X向移动台、Y向移动台、Z向升降平台组成，X向移动台位于底层，Y向移动台安装在X向移动台之上、位于中层，Z向升降平台安装于Y移动台之上、位于顶层；Y向移动台机械结构和X向移动台相同，Y向移动台的Y向安装座与X向导轨滑块连接；Z向升降平台的Z向安装座与Y向移动台的Y向导轨滑块连接；ICP功率匹配器位于整个系统的中层，其下部与三...
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