技术编号：6220859
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。多重图像度量。使用源自一条或多条带电粒子束的多张已配准图像执行度量。测量使来自一张图像的在第二图像中不可见的特征组合以确定从单张图像不能确定的关系。在一个实施例中，测量使用来自不同元素地图的特征来确定两个特征之间的关系，如在距离该第二图像上的特征一定距离确定的位置处的该第一图像内的两个特征之间的距离或角度。专利说明多重图像度量 [0001]本发明涉及使用多张图像确定尺寸。 背景技术 [0002]“微制造”是具有微米或纳米级特征的极小结构的制造。使...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。