技术编号:6221080
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提出了一种持卡器装置及多功位测试装置,持卡器上设有一单功位测试部件,用于对半导体芯片单个功位进行测试,在对半导体芯片进行多功位测试过程中即可使用单功位测试部件对异常功位进行单独测试,从而实现在对半导体芯片进行多功位测试的同时能够对单个功位进行测试,避免了更换工程卡,简化了功位异常解决的流程,提高了检测效率。专利说明持卡器装置及多功位测试装置[0001]本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种持卡器装置及多功位测试装置。背景技术[0002]半导体行业中,...
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