技术编号：6221316
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种基于单排多层结构的电场式时栅直线位移传感器，包括测头基体和定尺基体两部分；测头基体上有一排等间距的双正弦形电极；定尺基体上有一排矩形电极，电极底部有定尺引线，电极与引线之间有绝缘层，形成一种多层结构；测头基体与定尺基体上下相对平行放置，并留有一定间隙δ；测头基体与定尺基体相对移动；定尺一个周期内的4个电极分别连接相位为0°，90°，180°，270°的等幅等频正弦激励电压，测头电极上产生的行波信号Uo与一路相位固定的同频参考信号Ur进行比相...
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