技术编号：6221383
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了。该系统包括静电探针、支撑件、传感器、处理器、脉冲发生器和直流稳压电源；静电探针由支撑件固定呈悬挂状态，脉冲发生器的一端接地，另一端连接支撑件，传感器的一端连接支撑件，另一端连接处理器，直流稳压电源的一端接地。测试时，沉积于衬底上的待测相变材料置于静电探针下方；直流稳压电源的另一端连接衬底，提供偏置电压Vbias以改变衬底电位。本发明能检测不同尺度相变材料的相态，尤其是纳米尺度相变材料的相态，还能直观地反映出相变材料相态在空间分布的特点。此外，...
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