微型pm2.5检测传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:6221773

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本发明公开了一种微型PM2.5检测传感器,它包括基板、设置在基板上的入射光通道、检测光通道以及开设在基板上的气体通道,入射光通道、检测光通道和气体通道两两垂直并相交,相交处为检测区域,入射光通道包括一端与激光器相连接另一端连接在基板上的入射光纤、用于将光线汇聚在检测区域的中心位置的微柱面透镜组,检测光通道包括一端与检测装置相连接另一端连接在基板上的检测光纤、设置在检测区域底部的反射镜。通过采用上述技术方案,本发明微型PM2.5检测传感器,集成在一块石英玻璃...
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