技术编号：6222019
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种真空容器内光学检测架的隔振机构涉及光学精密检测振动隔离，技术方案是光学检测架通过支撑臂和支撑立柱固定到隔振器上，或者光学检测架通过支撑臂和吊杆固定到隔振器上，真空容器筒壁竖向中部位置设有凸形腔体，光学检测架的支撑臂伸到所述凸形腔体内与支撑立柱连接，支撑立柱垂直贯穿凸形腔体壳下部壁后固定到隔振器上；或者，光学检测架的支撑臂伸到所述凸形腔体内与吊杆连接，吊杆垂直贯穿凸形腔体壳上部壁后固定到隔振器上。本发明可以使光学平台及其荷载的重心接近隔振装置的弹性平面，...
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