非球面检测中采用自准平面镜测量光轴的方法技术资料下载

技术编号:6222297

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,属于光学检测,为解决非球面检测中光轴方向测量精度低的问题,该方法为调整平面反射镜与干涉仪的相对位置和角度,使平面镜方向与干涉仪的出射光垂直,产生干涉条纹为零条纹状态;采用激光跟踪仪分别测量空间一点的空间坐标及该点在平面镜中的镜像点的空间坐标,由这两点坐标获取光轴方向;调整补偿器与干涉仪对准,并采用装调定义仪对准补偿器透镜外表面的凹面;利用激光跟踪仪测量装调定位仪汇聚中心位置,即透镜外表面球心位置,获取光轴上的一点的空间坐标,结合步骤二中获取的光轴方向,得...
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