技术编号:6223454
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种基于热膨胀流的MEMS三轴陀螺及其加工方法,属于惯性测量领域。该陀螺主要包括上密封层、下基底层、中间检测层;所述中间检测层上有“十”字检测腔及位于检测腔内的金属电阻桥加热元件和金属电阻桥热敏元件。本发明提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺,采用阶梯结构的检测层、“十”字型检测腔以及悬空的金属电阻桥,可实现空间三轴角速度的同时测量,具有很高的集成度,并且可消除Z轴加速度输入对角速度信号测量的干扰,因此实现了基于热膨胀流的MEMS陀螺的多自由度测量...
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