基于声激励的音叉式石英晶振谐振频率的测量方法及装置制造方法技术资料下载

技术编号:6224304

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本发明涉及音叉式石英晶振谐振频率的测量技术,具体是一种基于声激励的音叉式石英晶振谐振频率的测量方法及装置。解决了目前测量音叉式石英晶振的固有频率时易受外界电磁环境及测量空间限制导致结果不准确的技术问题。一种基于声激励的音叉式石英晶振谐振频率的测量方法,包括以下步骤(a)对待测音叉式石英晶振采用声波进行激励;(b)在对声波频率进行扫描的同时引入一束探测光;(c)采集固定在空间位置上的一个接收面接收到的反射光强度变化信息,并将其强度转化为相应的电信号;(d)对...
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